從LCD到Micro LED,顯示技術的升級始終依賴蝕刻工藝對材料的極致掌控。
TFT背板的圖形化
薄膜晶體管(TFT)制造需7-10次蝕刻步驟:
金屬層蝕刻:Mo/Al/Mo疊層用磷酸/硝酸/醋酸混合液濕法刻蝕,確保電極導通電性。
半導體層蝕刻:a-Si或IGZO采用干法蝕刻,保護層界面免受等離子體損傷。
OLED像素精確分割
OLED發光層的精細隔離需使用陰影掩膜(FMM),但其精度受限。最新激光蝕刻技術可直接在有機材料上加工5微米寬像素,提升屏幕分辨率至3000 PPI。
柔性屏的蝕刻革新
聚酰亞胺(PI)基板上的銅電路通過卷對卷蝕刻工藝生產,采用FeCl?溶液實現20微米線寬,彎曲次數超10萬次無斷裂。